正性光刻胶和负性光刻胶是两种主要的光刻胶。对于负性光刻胶，曝光部分（），在光刻胶中形成的图形与掩膜板的图形（）对于正性光刻胶，曝光部分（），在光刻胶中形成的图形与掩膜板的图形（）。